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真空电容压力计通过检测电容薄膜上压力变化引起的膜片间距离变化,将电容变化转换为电流或电压信号输出,直接反映真空压力的变化值。其测量范围广、精度高、响应速度快,广泛应用于半导体制造、真空冶金、石油化工等领域,为工业生产过程中的质量控制和科学研究提供了重要支持。以下是对于真空电容压力...
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